| 【真空装置・機器の設計・製作】 |
・分析装置・機器
超高真空表面構造分析装置
鋼材中水素量分析装置
超高真空X線光電子分光装置
超高感度リーク試験/放出ガス測定装置
真空対応ウエハーマッピングFTIR測定装置
i-GONIO
イオンガン
・蒸着装置・機器
研究開発用小型MBE装置
EB蒸着装置
金単結晶基板作製装置
スパッタ装置
CVD装置
エバポレーター
有機エバポレーター
・各種研究開発装置・機器をご提案しております |
| 【真空チェンバーの設計・製作】 |
・円柱型チェンバー
・球型チェンバー
・角型チェンバー
・液体窒素・水冷シュラウド 他 |
| 【試料加熱機構の設計・製作】 |
・輻射加熱ステージ
・EB加熱ステージ
・通電加熱ステージ
・ランプ加熱ステージ
・液体窒素冷却・加熱ステージ
・逆スパッタ加熱機構 他 |
| 【極低温機構の設計・製作】 |
・液体窒素冷却機構
・液体ヘリウム冷却機構 他 |
| 【精密位置決め機構の設計・製作】 |
・各種マニピュレーター
・直線・回転導入機構
・各種高精度位置決めステージ 他 |
| 【真空・機械部品の設計・製作】 |
・真空配管
・電流導入端子
・樹脂部品
・レアメタル部品 他 |
| 【各種表面処理】 |
・真空脱ガス処理
・ガラスビーズブラスト処理
・バフ研磨処理
・電解研磨処理
・複合電解研磨処理
・各種メッキ処理 |
| 【電源・コントローラーの設計・製作】 |
・排気コントローラー
・ヒーターコントローラー（AC、DC、EB）
・シャッターコントローラー
・ベーキングコントローラー 他 |
| 【サービス】 |
・装置・機構改造
・装置・機構修理
・装置・機構メンテナンス、オーバーホール
・装置移設 |
