製品案内・分析装置
  • イオンガン
ACIGシリーズ超高真空3KVイオンガンは、基板表面に付着しているカーボン膜や酸化膜等をArイオンビームを照射することにより、クリーニングすることを目的として開発されました。
ACIGシリーズの制御コントローラーは2タイプをご用意しています。

永久磁石を組み込んだイオン源を採用していますので、効率の良いイオン化が得られます。差動排気を行うことなく、試料室とイオン化室の差圧が3桁以上でご使用いただける設計ですので、より試料室を良い真空で動作することが出来ます。
お手持ちの真空装置へ接続しやすい省スペース設計です。
仕様
イオン源電子衝突型 (永久磁石組込型)
加速電圧MAX 3KV
エミッション電流0〜30mA
イオン電流量3μA   (加速電圧:3KV)
ビーム径φ1mm  (加速電圧:3KV)
収束レンズ静電レンズ2段型
XY偏光幅±20mm (スキャン対応)
ワーキングディスタンス30mm 〜 100mm
ベーキング温度≦200℃
取り付けフランジφ70ICF, H回転フランジ

ACIG-3.jpg
ACIG-3_cad.jpg

ion_fig1.jpg
  • <標準モデル> ACIG-3P-1C
特徴
標準シリーズACIG-3P-1C制御コントローラーは、イオン加速電圧1KV、2KV、3KVと3点切替方式で、試料電流モニター、スキャン機能を標準装備した使い易さを重視したモデルです。

仕様
加速電圧 1KV・2KV・3KV(3点切替式)
エミッション電流 0〜30mA(連続可変/オート制御)
スキャン機能 20mmスキャン(X/50Hz Y/10Hz)外部周波数入力付
試料電流モニター BNC端子入力
出力ケーブル 5m(本体裏面に直付け)
入力電力 AC100V/5A
外部インターロック 無電圧接点付
寸法 149 (H) ×480 (W) × 500 (D) mm (JISラックマウント)
ACIG-3P-C
  • <高性能モデル> イオンガンコントローラ ACIG-3P-2
特徴
高性能シリーズACIG-3P-2制御コントローラーは、イオン加速電圧を低加速〜高加速に任意に調節可能で、ご希望の加速電圧・レンズ条件を調節可能な高性能モデルです。オプションとしてスキャン電源を組み合わせることで、20mm×20mmのスキャン範囲内で面スキャンが可能です。

仕様
加速電圧 0.1KV 〜 3KV (連続可変)
エミッション電流 0 〜 30mA  (連続可変 / オート制御)
出力ケーブル 5m(本体裏面に直付け)
入力電力 AC100V / 5A
外部インターロック 無電圧接点付
寸法 200 (H) × 480 (W) × 500 (D) mm (JISラックマウント)
ACIG-3P-2.jpg
  • ACIG-3P-2用スキャン電源 ACIG-3P-S
特徴
ACIG-3P-2と組み合わせることにより、面スキャン等を可能にします。

仕様
スキャン機能 20mmスキャン (X/50Hz Y/10Hz)
入力電力 イオンガンコントロール電源から受電
寸法 99 (H) ×480 (W) ×367 (D) mm (JISラックマウント)
ACIG-3P-S.jpg
ページ先頭へ ↑