製品案内・チェンバー
  • 真空脱ガス処理
特長

真空脱ガス処理の特長

 真空脱ガス処理は、真空容器(チェンバー)や部品等を真空中で熱処理し、実際にご使用になる時の真空容器内壁面や内部部品素材からのガス放出を抑え、良好な真空環境を実現するための処理です。
 弊社の真空脱ガス処理は、大型ステンレス製UHVチェンバーにTMP(3200L/sec)+ルーツドライポンプ(1000L/min)を搭載した完全オイルフリー排気系により、Qmassによる残留ガス分析の管理下で真空脱ガス処理を行います。処理されるすべての製品は高品質精密脱脂洗浄を施し高品質の処理を致します。
さらに、マグネットフィードスルー、マニピュレータ―、XYステージなどVacstage製品の真空脱ガス処理も行うことにより、より良好な真空実験環境を御提供します。到達真空度E-9Pa〜E-10Pa台を要求されるチェンバーには、立上時のベーク温度の低下や時間の短縮ができ、XHV・UHVチェンバーには最適な処理となります。

超高真空ベーク炉の残留ガス変化

処理前


処理後

UHV脱ガス処理時のQmassによる測定経時変化



真空ベーク炉仕様

有効寸法W750xD1250xH750(mm)以下
ベーク処理温度≦450℃(溶接ベローズ製品≦250℃)
加熱時間450℃−10時間 〜24時間(オプション)
温度制御プログラマブル温度調節器
冷却方式自然冷却
パージガスAr(アルゴン)
到達真空度
加熱処理開始時の真空度
10-7Pa台
5.0x10-5Pa以下
排気系ターボ分子ポンプ(3200L/sec)
ルーツドライポンプ(1000L/min)

参考事例(PREチェンバー)

チェンバー容積約8L(SUS316 複合電解研磨+450℃/10h真空脱ガス処理)
排気系300 L/sec(TMPポンプ)+ 90L/min(スクロールポンプ)
100L/sec( イオンポンプ)+ 2000L/sec(ゲッターポンプ)
ベーキング150〜220℃(72時間)
到達真空度6.6x10-10Pa(イオンポンプ+ゲッターポンプ排気)
残留ガス
DA0147.jpg
  • ロードロックチェンバー/ALLC
特長
  • ロードロック室を構成するチェンバーです
  • メインチェンバー内を真空に保持し大気に開放しないことを目的に
    メインチェンバーへの処理前、処理後の基板の出し入れ等を行います
  • 各ポートへ真空計やリークバルブ等取付可能
材質 SUS304
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
表面処理 内外面#400バフ+電解研磨

ALLC_cad.jpg
ALM275.jpg

規 格 A B C D L1 L2 L3 L4 L5 L6 L7 重量
(Kg)
PDF DXF
ALLC-4 ICF34-FT ICF70-FT ICF114-FH ICF114-RH 120 90 50 70 90 190 110 7.5
ALLC-6 ICF152-FH ICF152-RH 140 110 70 90 110 210 125 11.5
ALLC-8 ICF203-FH ICF203-RH 200 150 95 115 150 240 150 20
※特殊寸法も製作致します。お気軽にお問合せ下さい
※SUS316Lの場合:型番末尾  -6L

ALLC_cad_2.jpg
  • 蒸着チェンバー/KA0866
特長
  • 蒸着チェンバーの増設におすすめです
  • UHV対応
材質 SUS304
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec以下
表面処理 内外面#400バフ+電解研磨
特長 ICF70x6 ICF114x4 ICF152x2 ICF203x2 ICF253x2
水冷用パイプ巻き

KA0866.jpg
  • 蒸着チェンバー/DA0824
特長
  • 分析チェンバーの増設におすすめです
  • UHV対応
  • 搭載機器参考例
    ・LEED解析装置
    ・サンプルクリーニングイオン銃
    ・サンプル加熱機構
    ・アルカリ金属蒸発源
    ・エバポレーター   etc
材質 SUS304
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec以下
表面処理 内外面#400バフ+電解研磨
特長 ICF70x12 ICF114x1 ICF152x2 ICF203x2
半球部サイズ:φ267.4mm

DA0824.jpg
  • 多目的超高真空チェンバー/583MNK
特長
  • 超高真空の蒸着用や分析用など多くの用途に使用可能です
材質 SUS304
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec以下
表面処理 内外面#400バフ+電解研磨
特長 ICF70x7 ICF203x3 ICF253x2
メインパイプ外径:φ267.4mm(有効内径φ210mm)

583MNK.jpg
ページ先頭へ ↑