製品案内・蒸着装置
  • コンパクトセル ACC
特長
・ワンフランジに水冷機能、シャッター機構を搭載しています。
・一体型のコンパクトな設計の蒸着セルです。
・PDFカタログはこちら
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   コンパクトセル(PDF)
ACC.jpg
ACC_cad.jpg
型 式 ACC-500 ACC-1000 ACC-2500 ACC-3500
ルツボ容量 5cc 10cc 25cc 35cc
ヒーター材質 Taワイヤー
ルツボ材質 アルミナ/石英/PBN/他
最高加熱温度 1300℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触)
TCタイプ C-タイプ(W/Re)
L寸法 150/200/250/300(mm) 200/250/300(mm)
取付フランジF ICF70-FH ICF114-FH
真空内最大径R φ36.5 φ38 φ44 φ48
推奨電源型式 AHC-400 AHC-800
標準装備 水冷シュラウド(継手1/4")、回転式手動シャッター、TC、ヒーター大気側ケーブル5m
オプション ルツボ、チラーユニット
特型対応 L寸法変更、ルツボ材質変更、フラップ式シャッター、圧空作動式回転シャッター
  • 低温セル ALTC
特長
・昇温、保温、冷却の応答性が良い性能です。
・昇温時間も数分でターゲット温度まで加熱することができ、
   温度安定性も+/-0.1℃以下にて制御できます。
   ヒーターOFF後も効率よく冷却することが可能です。
・真空はもちろん、不活性ガスを問わずガス雰囲気でも使用可能です。
・有機原料を充填する専用ルツボは窒化アルミ(標準)
   石英、アルミナ(オプション)からご選定可能です。
・ルツボはアパーチャフタが装備されますので、
   コリメートされた分子線蒸着が可能です。
・手動シャッターを標準装備しています。
・PDFカタログはこちら
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ALTC.jpg
ALTC_cad.jpg
型 式 ALTC-035 ALTC-100 ALTC-500
ルツボ容量 0.35cc 1cc 5cc
ヒーター材質 シースヒーター   インコネル600
ルツボ材質 窒化アルミ/溶融石英ガラス
最高加熱温度 500℃ Max.(制御TC ルツボベース中心接触)
TCタイプ K-タイプ(AL/CH)
L寸法 150/200/250/300(mm)   選択 200/250/300(mm)   選択
マウントフランジF ICF70-FH
真空内最大径R φ34 φ34 φ36.5
推奨電源型式 AHC-300
標準装備 手動回転式シャッター、TC、ベース水冷式、TC・ヒーター大気側ケーブル5m
オプション チラーユニット   ルツボ(アパーチャー径φ2 or φ4)
特型対応 L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、
フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他
  • 標準セル AMTC
特長
・制御温度MAX1300℃まで加熱することが可能です。
・他社製MBE装置にも取付け可能です。
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AMTC.jpg
AMTC_cad.jpg
型 式 AMTC-500 AMTC-1000 AMTC-2500 AMTC-3500
ルツボ容量 5cc 10cc 25cc 35cc
ヒーター材質 Taワイヤー
ルツボ材質 アルミナ/石英/PBN
最高加熱温度 1300℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触)
TCタイプ C-タイプ(W/Re)
L寸法 200/250/300(mm)   選択 250/300(mm)   選択
マウントフランジF ICF70-FH ICF114-FH
真空内最大径R φ27.2 φ30.4 φ33.3 φ39.5
推奨電源型式 AHC-400 AHC-800
標準装備 TC・ヒーター大気側ケーブル5m
オプション 手動回転式シャッター、ルツボ
特型対応 L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、
フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他
  • 高温セル AHTC
特長
・ワンフランジに水冷機能、シャッター機構を搭載しています。
・一体型のコンパクトな設計の蒸着セルです。
・PDFカタログはこちら
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AHTC.jpg
AHTC_cad.jpg
型 式 AHTC-500 AHTC-1000 AHTC-2500
ルツボ容量 5cc 10cc 25cc
ヒーター材質 Wワイヤー
ルツボ材質 BN
最高加熱温度 1800℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触)
TCタイプ C-タイプ(W/Re)
L寸法 300/350/400(mm)   選択 350/400(mm)   選択
マウントフランジF ICF114-FH ICF152-FH
真空内最大径R φ51 φ54 φ58
推奨電源型式 AHC-800 AHC-1000
標準装備 水冷シュラウド、TC・ヒーター大気側ケーブル5m
オプション チラーユニット、手動回転式シャッター、ルツボ
特型対応 L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、
フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他
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