製品案内・規格品
  • スパッタガン ASGシリーズ
特長
ASG-1

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ASG-2

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・ターゲット電極の小型化設計により、ICF70取付フランジ(1インチ仕様)への取付が可能です。
・耐熱型のマグネットの使用により、150℃のベーキングが可能です。
・高真空型(Oリングシール)と超高真空型(ICFフランジ溶接型)が選択出来ます。
・ターゲットの交換が容易に出来る様、ネジ込式ターゲット押えを採用しています。
・取付フランジをICF114・152にする事で、シャッター機構取付の対応が可能です。
   ※1   ASG-1 シャッター機構付きのイメージ
・シャッターは回転式、フラップ式の2種類があり、それぞれ自動化の対応が可能です。
・フランジ〜ターゲット間距離のカスタム制作もご相談下さい。

※上記以外の仕様(ガス導入、カソード部角度調整型)にも対応可能です。

      ※1   ASG-1 シャッター機構付きのイメージ
      ASG-1_ShatterOpen.jpg
品名 型式 仕様 PDF DXF
φ1"スパッタガン ASG-1
※オプション   ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:φ36
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ1" /t5(※1) Max  磁性材φ1" /t1 Max
    ※1  熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい)
最大入力:100W(RF/DC)
入力コネクタ:N型
ガイドパイプ径:φ19
冷却水:1L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
φ1"UHVスパッタガン ASG-1-UHV カソードサイズ:φ36
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ1" /t5(※1) Max  磁性材φ1" /t1 Max
    ※1  熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい)
最大入力:100W(RF/DC)
入力コネクタ:N型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:1L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
*型式・バリエーション*
型式:ASG-1[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/275:UHV標準ICF70
A-UHV/4S  :UHVシャッター付ICF114
B-UHV/4    :UHVシャッター増設可能ICF114

その他特注品、お問い合わせください。
φ2"スパッタガン ASG-2
※オプション   ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:φ63
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ2" /t5 Max  磁性材φ2" /t1 Max
最大入力:300W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
ガイドパイプ径:φ19
冷却水:2L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
φ2"UHVスパッタガン ASG-2-UHV カソードサイズ:φ63
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ2" /t5 Max  磁性材φ2" /t1 Max
最大入力:300W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:2L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
*型式・バリエーション*
型式:ASG-2[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/4   :UHV標準ICF114
A-UHV/6S :UHVシャッター付ICF152
B-UHV/6   :UHVシャッター増設可能ICF152

その他特注品、お問い合わせください。
φ3"スパッタガン ASG-3
※オプション   ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:φ95
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ3" /t5 Max  磁性材φ3" /t1 Max
最大入力:500W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
ガイドパイプ径:φ19
冷却水:2L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
φ3"UHVスパッタガン ASG-3-UHV カソードサイズ:φ95
取付可能ターゲットサイズ:非磁性φ3" /t5 Max  磁性材φ3" /t1 Max
最大入力:500W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:2L/min以上(φ1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
*型式・バリエーション*
型式:ASG-2[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/6   :UHV標準ICF152
A-UHV/8S :UHVシャッター付ICF203
B-UHV/8   :UHVシャッター増設可能ICF203

その他特注品、お問い合わせください。

電源類
品名 型式 仕様
100W 高周波電源 ASG-100PM-1 周波数:13.56MHz   ±1kHz
出力電力:0〜120W   (100W連続)
出力コネクタ:N型
出力安定度:±1%   (電源電圧±7%時)
出力インピーダンス:4〜60Ω
入力:100VAC  単相   50〜60Hz   (300W最大)
冷却:強制空冷
寸法:H130xW280xD303
300W 高周波電源 ASG-300P-1 周波数:13.56MHz   ±1kHz
出力電力:0〜300W   (300W連続)
出力コネクタ:N型
出力安定度:±1%   (電源電圧±5%時)
出力インピーダンス:50Ω
入力:200VAC  単相   50〜60Hz   (900W最大)
冷却:強制空冷
寸法:H134xW358xD270
300W 自動整合器 ASG-300M 周波数:13.56MHz   ±1kHz
高周波電力平均:300W
出力コネクタ:HN型
出力安定度:±1%   (電源電圧±5%時)
出力インピーダンス:50Ω
入力:100VAC  単相   50〜60Hz   (50W最大)
冷却:自然空冷
寸法:H150xW290xD250
DCパルススパッタ電源 ASG-500DC-P 出力:700V   0.71A  (0.8A)
サージキラー付
DC/パルス切り替えスイッチ付
出力ケーブル  (HNプラグ付)  3m X 1本
DUTY比:10〜90%
DCスパッタ電源 ASG-500DC 出力:700V   0.71A  (0.8A)
サージキラー付
出力ケーブル  (HNプラグ付)  3m X 1本
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