製品案内・規格品
直線移動機構
目的各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
  • 中空Zステージ/ALM-275
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型：内径Ø39mm
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃

ALM275_cad.jpg		 ALM275.jpg

型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ
B移動フランジ		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALM-275-1/25 25
1		 ICF70-FH
ICF70-FT		 85〜110 179 3.0
ALM-275-1/50 50
1		 85〜135 204 3.1
ALM-275-1/100 100
1		 105〜205 274 3.5
ALM-275-1/150 150
1		 130〜280 349 4.5
ALM-275-1/200 200
1		 160〜360 429 4.9
ALM-275-1/250 250
1		 190〜440 509 5.5
ALM-275-1/300 300
1		 210〜510 579 5.8
  • 中空Zステージ/ALM-4
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型：内径Ø70mm
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃

ALM4_cad.jpg		 ALM4.jpg

型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ
B移動フランジ		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALM-4/50 50
1		 ICF114-FH
ICF114-FT		 150〜200 222 10
ALM-4/100 100
1		 160〜260 282 12
ALM-4/150 150
1		 185〜335 357 14
ALM-4/200 200
1		 220〜420 442 16
ALM-4/300 300
1		 227〜527 549 18
 ALM-4/400 400
1		 245〜645  667  22 
ALM-4/500 500
1		 300〜800 822 25
  • 中空Zステージ/ALMS
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型
    ：内径Ø39mm
  • 分解能
    ：0.1mm
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃

ALMS.jpg

ALMS-275-1_cad.jpg ALMS-4-275-1_cad.jpg
型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ
B移動フランジ		 C
（mm）		 D
（mm）		 E
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALMS-275-1/25 25
0.1		 ICF70-FH
ICF70-FT		 85〜110 170〜195 136 2.4
ALMS-275-1/50 50
0.1		 85〜135 195〜245 2.6
ALMS-275-1/75  75
0.1		 90〜165 220〜295 2.8
ALMS-275-1/100 100
0.1		 105〜205 245〜345 3.1
ALMS-275-1/150 150
0.1		 120〜270 295〜445 3.6
ALMS-4/275-1/25 25
0.1		 ICF114-FH
ICF70-FT 		 85〜110 170〜195 180  3.4
 ALMS-4/275-1/50 50
0.1		 85〜135 195〜245 3.6
ALMS-4/275-1/75 75
0.1		 90〜165 220〜295  3.8
ALMS-4/275-1/100 100
0.1		 105〜205 245〜345 4.1
 ALMS-4/275-1/150  150
0.1		 120〜270 295〜445 4.6
セットアップ例（５軸）
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