製品案内・規格品
直線移動機構
目的各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
  • 直線導入機/ALMR
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中実型:軸径Ø6mm（g6）
  • 直進力:120N
  • 分解能:0.01mm
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 120N

ALMR_cad.jpg		 ALMR.jpg

型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALMR-133/10 10
0.01		 ICF34-FH Ø6
(g6)		 130.5 50〜 60 0.7
ALMR-133/20 20
0.01		 153.5 50〜 70 0.8
ALMR-133/50 50
0.01		 213.5 50〜100 0.9
ALMR-275/10 10
0.01		 ICF70-FH 130.5 50〜 60 1
ALMR-275/20 20
0.01		 153.5 50〜 70 1
ALMR-275/50 50
0.01		 213.5 50〜100 1.4
  • 直線導入機/ALML
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中実型：軸径Ø6mm（ｇ6）
  • 直進力：150N
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 150N

ALML_cad.jpg		 ALML.jpg

型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALML-133/20 20
1		 ICF34-FH Ø6
(g6)		 113.5〜133.5 10〜30 0.6
ALML-133/30 30
1		 130.5〜160.5 10〜40 0.6
ALML-133/50 50
1		 173.5〜223.5 10〜60 0.8
  • 直線導入機/ALMP
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 非磁性・ベーキング対応
  • シャッター機構などの大気側での位置確認が可能
  • 押付を必要とされる機構に最適
  • 圧空駆動オプション対応
  • 中軸型：軸径Ø6mm（ｇ6）
  • 直進力：30N
  • 分解能：5mm
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 プッシュプル式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 30N
ALMP.jpg

ALMP_cad.jpg    圧空駆動オプション ALMP-AR_cad.jpg
型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALMP-133/25 25
5		 ICF34-FH Ø6
(g6)		 193〜218 50〜75 0.7
ALMP-133/50 50
5		 232〜282 50〜100 0.9
ALMP-133/75 75
5		 264.5〜339.5 50〜125 1
ALMP-133/100 100
5		 304.5〜404.5 50〜150 1.1
ALMP-133/150 150
5		 369〜519 50〜200 1.3
  • 中空直線導入機/ALMB
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型：内径Ø16mm
  • 直進力：150N
  • 分解能：0.1mm
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 150N

ALMB_cad.jpg		 ALMB.jpg

型 式 Z軸移動距離(mm)
Z軸移動精度(mm)		 A接続フランジ
B移動フランジ		 C
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALMB-133/30 30
0.1		 A ICF34-FH
B ICF34-FT		 91〜121 0.6
ALMB-133/50 50
0.1		 116〜166 0.7
セットアップ例（2軸）
01-2_setup.jpg
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