製品案内・規格品
  • 回転導入機構
目的各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
  • 回転導入機/ARM
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 真空側軸受けには長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
  • ストッパーにより任意の角度設定が可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃

ARM_cad.jpg		 ARM.jpg

型 式 A接続フランジ 移動軸径
(mm) 		C
（mm） 		D
（mm） 		E
（mm） 		回転トルク(Nm) 重量
（Kg） 		PDF DXF
ARM-133 ICF34-FH φ6(g6) 104.5 50 φ39 0.1 0.3
ARMH-133 0.4
ARM-275 ICF70-FH φ8(g6) 151.5 φ65 1.7 2.4
  • 回転導入機/ARMS
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • シャッター駆動などの回転導入に最適
  • スリム型の為ICF34の隣接配置が可能
  • 圧空駆動オプション対応
  • 回転0.15Nm
  • ストッパーにより任意の角度設定が可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃
回転トルク 0.15Nm(ARM-133)

ARMS_zu.jpg		 ARMS.jpg

型 式 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 D
（mm）		 E
（mm）		 回転トルク(Nm) 重量
（Kg）		 PDF DXF
ARMS-133 ICF34-FH φ6(g6) 88.5 50 28 0.15 0.2
  • 中空回転導入機/ARMW
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 回転トルク：1.7Nm
  • 中空軸により多軸導入に応用可能
  • 回転中空軸の寸法/形状指定が可能
  • モーター駆動にも対応可能
  • 分解能：0.1°（手動ハンドルオプションの場合）
  • 回転軸寸法指定可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃

ARMW_cad.jpg		 ARMW.jpg

型 式 A接続フランジ
B接続フランジ		 C
（mm）		 回転トルク(Nm) 重量
（Kg）		 PDF DXF
ARMW-275/133/S1 ICF70-FH
ICF34-FT		 100 1.7 2.4
※写真は手動ハンドルオプション付
  • ウォームギヤ回転導入機/AWG
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ウォームホイール&ギヤ駆動方式
  • 中空軸により多軸導入に応用可能
  • 回転軸寸法/形状の指定可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃

AWG_cad.jpg		 AWG.jpg

型 式 A接続フランジ
B接続フランジ		 C
（mm）		 減速比 重量
（Kg）		 PDF DXF
AWG-275 ICF70-FH
ICF34-FT		 ご指定長 1/30 3.6    
セットアップ例（2軸）
02-1_setup.jpg
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