製品案内・規格品
マニピュレーター
目的各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。
  • 大口径3軸マニピュレーター/ALF3
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • XY軸移動距離：±12.5mm(0.005mm)
  • 大口径移動フランジ：ICF152
  • モーター駆動にも対応可能
  • 規格品以外は、お問い合わせ下さい
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃
マイクロメーター部除く

ALF3_cad.jpg		 ALF3.jpg

型 式 XY軸移動距離
(mm)
XY軸移動精度
(mm)		 Z軸移動距離
(mm)
/ Z軸移動精度
(mm) 		A接続フランジ
B移動フランジ		 C内径
（mm）		 D
（mm）		 E
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALF3-8/6/50LM/H ±12.5
0.005		 50 / 1 ICF203-FT
ICF152-FH		 Ø102 250〜300 268.5
±12.5		 37
ALF3-8/6/100LM/H 100 / 1 250〜350 38
ALF3-8/6/150LM/H 150 / 1 250〜400 39
ALF3-8/6/200LM/H 200 / 1 250〜450 40
ALF3-8/6/250LM/H 250 / 1 255〜505 41
ALF3-8/6/300LM/H 300 / 1 260〜560 42
  • ロータリーステージ/ARS
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応(差動排気：1Pa以下)
  • 中空型連続回転ステージ
  • 角度分解能：0.1°
  • 回転速度：2rpm以下
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
（1Pa以下の差動排気が必要）
真空シール方式 UHVシール方式
駆動方式 ウォームギヤ式
許容加熱温度 ≦200℃
角度分解能 0.1°
回転速度 2rpm 以下

ARS_cad.jpg		 AXY.jpg

型 式 A接続フランジ
B移動フランジ		 C内径
（mm）		 D
（mm）		 E
（mm）		 F差動排気
フランジ		 G
（mm）		 H
（mm）		 I
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ARS-275 ICF70-FT
ICF70-FT		 Ø39 70 18 ICF34-FT 60 74 68.5 3.2
ARS-4 ICF114-FT
ICF114-FT		 Ø65 70 89 4.2
ARS-6 ICF152-FT
ICF152-FT		 Ø105 90 119 96 6.4
ARS-8 ICF203-FT
ICF203-FT		 Ø155 100 33 120 169.5 174 13.5
セットアップ例（6軸）
03-02_setup.jpg
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