製品案内・規格品
トランスファー
目的各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。
  • マグネットフィードスルー/AMF-275
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 連続360°回転と直進の移動が可能
  • Ø10、Ø16の2種類の移動軸から選択
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション
  • 遠隔操作機構(AMF-REM)オプション
  • サンプルトランスファー(AST-RL-1）対応

  • 特許第4684005号 真空フィードスルー
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 60N
回転トルク 0.6Nm

AMF-275_cad.jpg		 AMF-275.jpg

型 式 Z軸移動距離
(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 重量（注）
（Kg）		 PDF
Ø10		 PDF
Ø16		 DXF
Ø10		 DXF
Ø16
AMF-275/200 200 ICF70-FH Ø10 (g6)
Ø16
先端Ø10 (g6)		 420 2.6
AMF-275/300 300 520 2.8
AMF-275/400 400 620 3
AMF-275/500 500 720 3.2
AMF-275/600 600 820 3.3
AMF-275/700 700 920 3.5
AMF-275/800 800 1020 3.7
AMF-275/900 900 1120 3.9
AMF-275/1000 1000 1220 4.1
AMF-275/1100 1100 1320 4.3
AMF-275/1200 1200 1420 4.5
  • 2軸回転マグネットフィードスルー/AMFW-275
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 第1軸：連続360°回転・直進移動
  • 第2軸：90°回転
  • サンプルトランスファー(AST-MH)対応
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 60N
回転トルク 0.6Nm（第1,2軸共）

AMFW-275_cad.jpg		 AMFW-275.jpg

型 式 Z軸移動距離
(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 回転角度 B
（mm）		 重量（Kg） PDF DXF
AMFW-275/200 200 ICF70-FH 第1軸：Ø16
第2軸：Ø6(g6)		 第1軸：180°
第2軸：90°		 520 4.4
AMFW-275/300 300 620 4.7
AMFW-275/400 400 720 5
AMFW-275/500 500 820 5.3
AMFW-275/600 600 920 5.6
AMFW-275/700 700 1020 5.9
AMFW-275/800 800 1120 6.2
AMFW-275/900 900 1220 6.5
AMFW-275/1000 1000 1320 6.8
AMFW-275/1100 1100 1420 7
AMFW-275/1200 1200 1520 7.5
  • マグネットフィードスルー/AMF-133
特長
  • 高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式 マグネットカップリング方式
許容加熱温度 ≦200℃
直進力 60N
回転トルク 0.35Nm

AMF-133cad.jpg		 AMF-133.jpg

型 式 Z軸移動距離
(mm)		 A接続フランジ 移動軸径
(mm)		 C
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
AMF-133-1/100 100 ICF34-FH Ø8 (g6)
※接続部はØ6		 286 1
AMF-133-1/150 150 336
AMF-133-1/200 200 386 1.1
AMF-133-1/250 250 436
AMF-133-1/300 300 486
AMF-133-1/400 400 586 1.2
  • ラック&ピニオンフィードスルー/ALP
特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ラック＆ピニオン駆動方式を採用
  • 第2軸の増設も可能
    ※2軸増設時のZ軸移動距離はMAXで800mmまでになります。
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ラック＆ピニオン方式
許容加熱温度 ≦200℃

ALP_cad.jpg		 ALP.jpg

型 式 Z軸移動距離
(mm)		 A接続フランジ
B接続フランジ		 C
（mm）		 移動軸径
(mm)		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ALP-275/800 800 ICF70-FH
ICF34-FT		 980 Ø8 (g6) 8.9    
ALP-275/1000 1000 1180 9.6    
ALP-275/1200 1200 1380 10.3    
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