製品案内・規格品
  • ビューポート
  • 窓付交換ハッチ/AAD
特長
  • Oリングシール方式を採用
  • 覗き窓標準付属
許容リーク量 ≦1.33x10-9Pa・m3/sec
Oリング部除く
真空シール方式 バイトンOリング
許容加熱温度 ≦150℃
窓材質 テンパックスガラス

AMW_cad.jpg
AAD.jpg

型 式 A接続フランジ B内径(mm) C内径(mm) D
(mm)
E
(mm)
F
(mm)
開閉角度 重量
(Kg)
PDF DXF
AAD-275 ICF70-FT φ38 φ39 26.3 36 98 120° 0.6
AAD-275H ICF70-FH φ38 φ37 26.3 36 98 0.6
AAD-4 ICF114-FH φ56 φ62 34 48 141 1.8
AAD-6 ICF152-FH φ96 φ96 42 58 192 3.3
AAD-8 ICF203-FH φ115 φ146 43 60 243 5.9
AAD-10 ICF253-FH φ194 45 63 301 115° 10.9    
  • ビューポート/AOV
特長
  • 窓材:合成石英
  • 窓材のみの交換が可能
  • レーザー光の導入に最適
許容リーク量 ≦1.33x10-9Pa・m3/sec
Oリング部除く
真空シール方式 バイトンOリング
許容加熱温度 ≦150℃
窓材質 合成石英

AOV_cad.jpg
AOV.jpg

型 式 A接続フランジ B内径
(mm)
C
(mm)
重量
(Kg)
PDF DXF
AOV-275 ICF70-FH φ30 15.7 0.3
AOV-4 ICF114-FH φ63 21 1
AOV-6 ICF152-FH φ98 23 1.7
  • 鉛ガラス入りビューポートカバー/AVLC
特長
  • 覗き窓からの放射線遮蔽に最適
減衰能力 X線管電圧30KV以下
許容加熱温度 ≦200℃

AVLC_cad.jpg
AVLC.jpg

型 式 A接続可能フランジ B内径
(mm)
C
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(Kg)
PDF DXF
AVLC-133-1 ICF34 φ17 25 18 φ42.5 0.05
AVLC-275-1 ICF70 φ42 21 14 φ78 0.1
AVLC-4-1 ICF114 φ87 31 24 φ119.5 0.2
AVLC-6-1 ICF152 φ122 35 28 φ159.5 0.4
AVLC-8-1 ICF203 φ182 φ212 0.7
(鉛ガラス t5)
  • ビューポートカバー/AVPC
特長
  • ステンレス一体成型でガラスの保護遮光に利用
  • ベーキング時のビューポート保温に最適
許容加熱温度 ≦200℃
材質 SUS304

AVPC_cad.jpg
AVPC.jpg

型 式 A接続可能フランジ B
(mm)
重量
(Kg)
PDF DXF
AVPC-133 ICF34 15 0.01
AVPC-275 ICF70 20 0.03
AVPC-4 ICF114 25 0.08
AVPC-6 ICF152 30 0.13
AVPC-8 ICF203 32 0.2
  • パスライト・ビュー/ALS
特長
  • 装置内の温度を上昇させずにチェンバー内照明と観察が可能
    • ※オプションで、CMOSカメラ・液晶モニターを取り付けることが出来ます
  • ICF70/ICF114ビューポートフランジに取り付け可能
  • CMOSカメラによりチェンバー内のモニタ・撮影が可能
  • 偏光フィルターにより高温加熱部の観察が可能

  • 特許第5555104号 真空装置用照明器具(パスライト)


型 式 接続可能フランジ 視野径 入力  ライト サイズ  PDF DXF
ALS-133-2 ICF34 φ5mm AC100V
LED4灯式   φ58x53mm  
ALS-275-2 ICF70 φ26mm LED6灯式   φ75x64mm
ALS-4-2 ICF114 φ46mm  LED12灯式  φ122x61mm

ALS-133-2
ALS-133-2.jpg
ALS-275-2
ALS275_zu.jpg
ALS-4-2
ALS4_zu.jpg
  • パスライト・ビュー用CMOSカメラ/ALS-J2
特長
  • デジタル映像の207万画素(1920*1080)の高解像で、動画・画像撮影に対応
  • ※配線数の削減、マウス操作が可能
  • 搬送ロッドなどの位置決めに使用可能な、縦横それぞれ8本、計16本の線を、
    任意の位置に表示することが可能
  • CMOSカメラによりチェンバー内のモニタ・撮影が可能
  • 簡易画像測定機能により、真空中から撮影対象物を取り出すことなく、
    寸法、角度、面積などの測定が可能
  • ※精度はキャリブレーションに依存します。
  • デジタルズームにより、最大10倍まで拡大して表示することが可能です。
  • 撮影対象物との距離が100mm〜無限遠の範囲で使用することが可能
  • ・PDFカタログはこちら
       ↓
       パスライト・ビュー用CMOSカメラ(PDF)

型 式 出力 サイズ 解像度 入力 対応OS
ALS-J2 HDMI / PC (USB Type C) 約φ60mm x 75.5mm(レンズ含む) 1920 x 1080 (FHD) 2MP USB Type C (5V2A) Windows,Mac OS,Linux
  • ポラライザー/ALS-275-2P・ALS-4-2P
特長
  • 偏光フィルターを採用し、ビューポートから覗く時に光量を調節する事ができ、高温加熱部の観察を行う事が可能です
  • パスライト・ビューと組み合わせて使用でき、LEDの明るさを調節し観察出来ます

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ALS-275-2P.jpg

型 式 A 接続可能フランジ B
(mm)
C(視野径)
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(kg)
PDF DXF
ALS-275-2P ICF70 φ75 φ38 φ42 φ70 0.5
ALS-4-2P ICF114 φ119 φ61 φ65 φ110 1.4
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