製品案内・規格品
アクセサリー
  • 保管容器/ASP
特長
  • マニピュレーター/加熱機構などの真空保管に最適
  • Oリングシール方式で取付が容易
  • Ø1/4インチ接続バルブにより真空排気が容易
許容リーク量 ≦1.33x10-9Pa・m3/sec
Ｏリング部除く
真空シール方式 バイトンＯリング

ASP_cad.jpg		 ASP.jpg

型 式 A接続可能
フランジ		 B内径
（mm）		 C
（mm）		 重量(注)
（Kg）		 PDF DXF
L200		 DXF
L300		 DXF
L400		 DXF
L500		 DXF
L600		 DXF
L700
ASP-275 ICF70 Ø39.4 200
300
400
500
600
700		 0.6
ASP-4 ICF114 Ø72.1 1.3
ASP-6 ICF152 Ø110.1 2
ASP-8 ICF203 Ø159.6 3.6
ASP-10 ICF253 Ø210.7 5
  • レジューシングニップル/AGM
特長
  • パイプ内径を大きくしたことによりゲッターポンプや真空計の取り付けに最適
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
許容加熱温度 ≦200℃

AGM_cad.jpg		 AGM.jpg

型 式 A接続フランジ
B取付フランジ		 重量
（Kg）		 PDF DXF
AGM-275-1 ICF70-FH
ICF70-FT		 1.3
  • ダブルＯリングアダプター/AQP
特長
  • スパッタガンの取付、ガラス管の真空シールに最適
  • 超高真空対応の構造で、150℃のベーキングも可能
許容リーク量 ≦1.33x10-9Pa・m3/sec
Ｏリング部除く
真空シール方式 バイトンＯリング
許容加熱温度 ≦150℃

AQP_cad.jpg		 AQP.jpg

型 式 A接続フランジ B内径
（mm）		 C
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
AQP-NW25-0.75 NW25 Ø19.05 50 0.1
AQP-NW40-0.75 NW40 0.2
AQP-275-0.75 ICF70-FH 0.6
AQP-4-0.75 ICF114-FH 54 1.5
AQP-6-0.75 ICF152-FH 2.8
AQP-8-0.75 ICF203-FH 5.5
  • 排気ダクト/ARD
特長
  • 荒引きポンプの排気口と排気ホースの接続に最適
  • 接続フランジ：NW16、25、40
材質 塩化ビニール製

ARD_cad.jpg		 ARD.jpg

型 式 A接続可能フランジ B
（mm）		 C
（mm）		 D
（mm）		 重量
（Kg）		 PDF DXF
ARD-16-38 NW16 70 Ø38 Ø32 0.03
ARD-25-38 NW25 0.02
ARD-25-50 Ø50 Ø44 0.03
ARD-25-75 Ø75 Ø69 0.06
ARD-40-50 NW40 Ø50 Ø44 0.03
  • 加圧防止リリーフ弁/AVVE
特長
  • 真空チェンバー加圧防止に使用できます。
  • N2パージライン等へ接続することで、真空チェンバーを加圧することがなく保護できます。
  • ストップバルブ付きでは、一次側ガスラインと仕切ることができ、
    バルブにて一次側パージライン等を仕切る事が可能です。
    ※OUT側に真空用バルブを取り付けてご使用下さい。

AVVE_cad.jpg AVVE_V_cad.jpg 		AVVE_s.jpg
AVVE_V_s.jpg

型 式 接続継手 クラッキング圧力 ストップバルブ PDF DXF
AVVE-1/4-0.003MPA φ1/4" 1/3psi(0.03bar,0.003MPa) なし
AVVE-1/4-0.003MPA-V 付き
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