製品案内・分析装置
  • 輻射加熱ステージ
特徴
ヒーター φ 37.5mm PG ヒーター
加熱温度 MAX1000℃
駆動軸 面内回転
ヒーター材は、PG/PBN・SiC・W・Ta・Pt などからお選び頂けます。
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  • EB加熱ステー
特徴
ヒーター ヒーター:φ 0.3mm / W
HV/ 温度 1000V / 104mA ⇒ 1380℃
450V / 260mA ⇒ 1500℃
( 放射温度計により測定)
オプション 通電加熱機構
ステージ形状は複数種類からお選び頂けます。
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  • 通電加熱ステージ
特徴
ヒーター 通電方式:片側フローティング/ GND 接続型
両側フローティング通電型
輻射加熱温度 800℃
輻射加熱ヒーターと組み合わせる事により、基板への通電加熱が安定して行えます。
ステージ形状は複数種類からお選び頂けます。
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  • ランプ加熱ステージ
特徴
ヒーター ハロゲンランプヒーター
加熱温度 MAX500℃
耐酸素雰囲気・低真空・反応性ガス雰囲気などの環境に対応し円型・角型・筒型・ヒーター形状などに対応致します。
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  • LN2冷却ステージ
特徴
冷却方式 LN2 フロー方式
ステージ温度 20 分 ⇒ 85K
オプション 温度コントロールヒーター機構
サンプルステージ
新規・既存サンプルホルダーに対応致します。
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